卓上搬送ロボット(半導体 搬送) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシステム

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現

• Company：株式会社ジェーイーエル
• Price：応相談

• その他半導体製造装置